분석료

기본사용료 : 20,000원/시간당 부사용료(사진) : 5,000원/시료당 부사용료(코팅) : 20,000원/회당 부사용료(EDX) : 5,000원/point

장치용도

- SEM은 전자빔을 시료표면에 주사시켜 발생하는 다양한 신호를 검 출하여 물질의 형태 및 구조, 성분 등의 정보를 얻을 수 있는 기기

주요규격

- SE Image Resolution : 1.0nm(15kV), 202nm(1kV) - Magnification : × 25 ∼ × 19,000(LM Mode) × 100 ∼× 300,000(SEI Mode) - Accelerating Voltage : 0.5kV to 30kV - Maximum Probe Current : 10-13A ∼10-9A

세부분석/특기사항

- 금속 및 세라믹스의 파단면의 형태 관찰 - 시료내의 불순물의 위치 - Powder의 형태와 크기 관찰 - 반도체 증착 두께 측정 - 미세조직의 형태 관찰