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전자탐침미세분석기(Electron Probe Micro Analyzer)
  • 분류 : 공동실험실습관
  • 분석연구원 : 박소희
  • 전화번호 : 043-841-5751
  • 설치장소 : 공동실험실습관 2층 201호 표면분석실 Ⅱ
  • 모델명 : EPMA-1600 / SHIMADZU
  • 제조사 : Shimadzu
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신청가능

분석료

기본사용료 : 40,000원/시간당 부사용료 : 30,000원/시편당 부사용료(코팅) : 20,000원/회당

장치용도

- X-선 전자총에서 가속된 전자빔으로 시편의 표면에 대한 정보를 얻을 수 있는 기기 - WDS를 이용하여 시료의 정량분석이 가능

주요규격

- WDS : 3channels(elements : 5B to 92U) - EDS : 1channel(elements : 5B to 92U) - Electron Beam Resolution : 6nm - Magnification

세부분석/특기사항

- 금속 및 재료, 화학공업 분야를 비롯한 공업분야 - 시료의 Image 관찰 및 성분분석(정성 및 정량) - Line 분석을 통한 시료내 원소변화 관찰 - Mapping을 통한 시료내 구성성분의 위치 및 형태 관찰