분석료

기본사용료 : 10,000원/시료당/5point

장치용도

- Ultra Measuring force를 이용하여 박막의 두께 및 필름의 표면 거칠기를 LVDT의 센서를 이용하여 측정한 후 2차원 그래픽화하여 시편의 이미지를 얻는 기기

주요규격

- Vertical measuring range : 600㎛(± 300㎛) - Resolution : 0.1nm - Scan range : 100mm - Scan speed : 0.005 ~ 2mm/s

세부분석/특기사항

- CVD, PVD 코팅층의 박막두께, MEMS 부품의 박막두께, 폴리머의 박막두께 측정 - CD, PDP 의 GLASS 박막두께 및 표면조도 측정, LCD PDP 부품의 격벽측정 - Bump(wafer)의 높이 측정 등