분석료

기본사용료 : 30,000원/시간당 부사용료(사진) : 5,000원/시료당 부사용료(코팅) : 20,000원/회당 부사용료(EDX) : 8,000원/point

장치용도

- 전자빔을 시료 표면에 주사시켜 발생하는 다양한 산란전자를 이용 하여 물질의 형태 및 구조, 성분 등의 정보를 얻을 수 있는 기기, 특 히 가속전압에 의한 시료손상을 최소화할 수 있는 저가속전압 적용

주요규격

- SE Image Resolution : 1.0nm(15kV) 1.5nm(1kV GB Mode) - Magnification : ×25 ~ ×1,000,000 - Accelerating voltage : 0.1 to 30 kV - Maximum Probe current ？: 200nA - Electron Gun In-lens Schottky Field-Emission Gun

세부분석/특기사항

- 금속 및 세라믹스의 파단면의 형태 관찰 - 시료내의 불순물의 위치 - Powder의 형태와 크기 관찰 - 반도체 증착 두께 측정 - 미세조직의 형태 관찰